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VLSI版图互连优化和光学工艺校正算法研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2009
Authors:  马鸿
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物理综合  缓冲优化  信号完整性  分辨率增强技术  光学和工艺校正  Physical Synthesis  Buffering Optimization  Signal Integrity  Resolution Enhancement Technique  Optical And Process Correction  
基于PLC的运动控制与过程控制研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2008
Authors:  李庆涛
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运动控制  过程控制  掩膜版传输  预对准  反渗透膜  膜热消毒  管道热消毒  Motion Control  Process Control  Mask Transport System  Pre-alignment  Reverse Osmosis  Membrane Hot-disinfection  Pipe Hot-disinfection  
掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007
Authors:  刘云
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掩模版  四象限光电探测器  粗预对准  精细预对准  显微视觉  运动控制  Petri网  Photo Mask  Fqpd  Coarse Pre-alignment  Fine Pre-alignment  Microscopic Vision  Motion Control  Petri Net  
纳米级IC设计中的信号完整性问题研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2006
Authors:  张富彬
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静态串扰噪声  动态串扰噪声  电感噪声  静态ir压降  动态ir压降  信号完整性  电源完整性  Static Crosstalk Noise  Dynamic Crosstalk Noise  Inductive Noise  Static Ir Drop  Dynamic Ir Drop  Signal Integrity  Power Integrity