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微纳作业平台的位姿感知与智能控制方法研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院自动化研究所, 2022
作者:  杜章铭
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微纳作业  压电致动器  位移感知  神经网络  模型预测控制  直接逆控制