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A Survey on Modelling and Compensation for Hysteresis in High Speed Nanopositioning of AFMs: Observation and Future Recommendation 期刊论文
International Journal of Automation and Computing, 2020, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 479-501
作者:  Maniza Armin;  Priyo Nath Roy;  Sajal Kumar Das
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Hysteresis  nonlinearities  piezoelectric actuator  smart actuator  atomic force microscope.