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Virtual production lines design for back-end semiconductor manufacturing systems 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, 2003, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 543-550
作者:  Tang, Y;  Zhou, MC;  Qiu, RG
收藏  |  浏览/下载：141/0  |  提交时间：2015/11/08
Heuristic Algorithm  Manufacturing Execution System  Production Configuration  Virtual Production Line