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Multiscale modeling and operation of PECVD of thin film solar cells 期刊论文
CHEMICAL ENGINEERING SCIENCE, 2015, 卷号: 136, 页码: 50-61
作者:  Crose, Marquis;  Kwon, Joseph Sang-Il;  Nayhouse, Michael;  Ni, Dong;  Christofides, Panagiotis D.
收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2016/03/30
Process Modeling  Process Optimization  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Thin Film Solar Cells  Thin Film Surface Morphology  Thin Film Thickness