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Control Strategy for a Low Cost Manipulator to Transport and Align IC Mask-Plates 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1018-1027
作者:  Xu, De;  Tan, Min;  Liu, Yun;  Wang, Jianhua
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Alignment  Control System  Four-quadrant Photodetector (Fqpd)  Hybrid Control  Integrated-circuit (Ic) optIcal Lithography  Manipulator  
掩模传输系统四象限对准装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200510105260.6, 申请日期: 2005-09-28, 公开日期: 2007-04-04
发明人:  谭民;  徐德;  王秀青;  赵晓光;  刘云;  汪建华
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