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Control Strategy for a Low Cost Manipulator to Transport and Align IC Mask-Plates 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1018-1027
作者:  Xu, De;  Tan, Min;  Liu, Yun;  Wang, Jianhua
收藏  |  浏览/下载：127/0  |  提交时间：2015/08/12
Alignment  Control System  Four-quadrant Photodetector (Fqpd)  Hybrid Control  Integrated-circuit (Ic) optIcal Lithography  Manipulator