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Control Strategy for a Low Cost Manipulator to Transport and Align IC Mask-Plates 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1018-1027
Authors:  Xu, De;  Tan, Min;  Liu, Yun;  Wang, Jianhua
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Alignment  Control System  Four-quadrant Photodetector (Fqpd)  Hybrid Control  Integrated-circuit (Ic) optIcal Lithography  Manipulator  
掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007
Authors:  刘云
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掩模版  四象限光电探测器  粗预对准  精细预对准  显微视觉  运动控制  Petri网  Photo Mask  Fqpd  Coarse Pre-alignment  Fine Pre-alignment  Microscopic Vision  Motion Control  Petri Net