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集成电路显微图像多层对准
丁利军
学位类型工学硕士
导师洪继光
1997-06-01
学位授予单位中国科学院自动化研究所
学位授予地点中国科学院自动化研究所
学位专业模式识别与智能系统
摘要这篇论文提出了集成电路显微图像同层和异层对准的算法和芯片图像全局 对准策略,并且根据它们实现了一个实用的图像对准系统。在实际的使用中取 得了成功。 几乎任何图像对准方法都可以分解为特征空间、相似性度量、搜索空间和 搜索策略这四个元素进行选择的组合。本文从这个角度对图像对准的基本理论 和各种实用的方法进行了概括性的阐述。确定图像对准方法的关键是确定对准 变换,即搜索空间。而要想得到最佳的对准变换,则需要选择恰当的特征空间、 相似性度量和搜索策略。 本文将针对集成电路显微图像这个特殊领域的对准问题提出的工程实现方 法,放入上面所提出的理论框架中来阐述,一方面认清了工程方法的理论背景, 另一方面通过理论的实际应用,进一步理解了理论,认识了理论方法的巨大价 值。
馆藏号XWLW428
其他标识符428
语种中文
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.ia.ac.cn/handle/173211/7188
专题毕业生_硕士学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
丁利军. 集成电路显微图像多层对准[D]. 中国科学院自动化研究所. 中国科学院自动化研究所,1997.
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