Knowledge Commons of Institute of Automation，CAS
| 基于Petri网的组合设备建模与调度综述 | |
| 袁凤连; 黄波; 王际鹏; 潘春荣 | |
| 发表期刊 | 自动化学报
 |
| ISSN | 0254-4156 |
| 2023 | |
| 卷号 | 49期号:5页码:929-948 |
| 摘要 | 组合设备是半导体晶圆制造的核心装备,其调度与控制优化是半导体制造领域极具挑战性的课题. Petri网因其强大的建模能力和简约的图形化表达优势,被广泛地应用于组合设备的建模与调度.对基于Petri网的组合设备建模与调度方法进行综述,归纳总结了组合设备的结构类型、晶圆流模式、调度策略及Petri网建模方法,并系统阐述组合设备的7类典型调度问题,包括驻留时间约束、作业时间波动、晶圆重入加工、多品种晶圆加工、加工模块(Process module, PM)故障、PM清洗和组合设备群.最后,讨论了当前组合设备调度存在的挑战及后续可能的研究方向. |
| 关键词 | 晶圆制造 Petri网 组合设备 建模 调度 |
| DOI | 10.16383/j.aas.c210951 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ia.ac.cn/handle/173211/56145 |
| 专题 | 学术期刊_自动化学报 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁凤连,黄波,王际鹏,等. 基于Petri网的组合设备建模与调度综述[J]. 自动化学报,2023,49(5):929-948. |
| APA | 袁凤连,黄波,王际鹏,&潘春荣.(2023).基于Petri网的组合设备建模与调度综述.自动化学报,49(5),929-948. |
| MLA | 袁凤连,et al."基于Petri网的组合设备建模与调度综述".自动化学报 49.5(2023):929-948. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| AAS-CN-2021-0951.pdf（2707KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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