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Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation 期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983
作者:  Qinghua Zhu;  Hongpeng Li;  Cong Wang;  Yan Hou
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Chamber cleaning  multi-cluster tools  scheduling  semiconductor manufacturing