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基于外环速度补偿的封闭机器人确定学习控制 期刊论文
自动化学报, 2023, 卷号: 49, 期号: 9, 页码: 1904-1914
作者:  王敏;  林梓欣;  王聪;  杨辰光
Adobe PDF(3211Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：18/6  |  提交时间：2024/04/24
确定学习  速度补偿控制  神经网络  封闭机器人  
Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation 期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983
作者:  Qinghua Zhu;  Hongpeng Li;  Cong Wang;  Yan Hou
Adobe PDF(2283Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：92/34  |  提交时间：2023/09/07
Chamber cleaning  multi-cluster tools  scheduling  semiconductor manufacturing