中文版 | English

在结果中检索

CASIA OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation 期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983
作者:  Qinghua Zhu;  Hongpeng Li;  Cong Wang;  Yan Hou
Adobe PDF(2283Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：119/39  |  提交时间：2023/09/07
Chamber cleaning  multi-cluster tools  scheduling  semiconductor manufacturing  
Scheduling Dual-Arm Cluster Tools With Multiple Wafer Types and Residency Time Constraints 期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2020, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 776-789
作者:  Jipeng Wang;  Hesuan Hu;  Chunrong Pan;  Yuan Zhou;  Liang Li
Adobe PDF(2685Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：198/50  |  提交时间：2021/03/11
Cluster tools  multiple wafer types  scheduling  semiconductor manufacturing  wafer fabrication  
When a Semiconductor Utilized as an NIR Laser-Responsive Photodynamic/Photothermal Theranostic Agent Integrates with Upconversion Nanoparticles 期刊论文
ACS BIOMATERIALS SCIENCE & ENGINEERING, 2019, 卷号: 5, 期号: 6, 页码: 3100-3110
作者:  Lv, Ruichan;  Wang, Yanxing;  Liu, Jun;  Feng, Miao;  Yang, Fan;  Jiang, Xue;  Tian, Jie
收藏  |  浏览/下载：291/0  |  提交时间：2019/09/30
donor-acceptor  lanthanide doped  semiconductor  photodynamic therapy (PDT)