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压电陶瓷致动器纳米级位移融合测量系统、方法和装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL201910478437.9, 申请日期: 2020-10-16,
发明人:  杜章铭;  周超;  王硕;  邓赛;  张甜露;  程龙;  谭民
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