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Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation 期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983
作者:  Qinghua Zhu;  Hongpeng Li;  Cong Wang;  Yan Hou
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Chamber cleaning  multi-cluster tools  scheduling  semiconductor manufacturing  
Static Force-Based Modeling and Parameter Estimation for a Deformable Link Composed of Passive Spherical Joints With Preload Forces 期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2021, 卷号: 8, 期号: 11, 页码: 1817-1826
作者:  Gaofeng Li;  Dezhen Song;  Lei Sun;  Shan Xu;  Hongpeng Wang;  Jingtai Liu
Adobe PDF(5110Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：157/50  |  提交时间：2021/09/03
Deformable link  parameters identification  spherical joint with preload force  static force-based model