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掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007
作者:  刘云
Microsoft Word(10463Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：175/0  |  提交时间：2015/09/02
掩模版  四象限光电探测器  粗预对准  精细预对准  显微视觉  运动控制  Petri网  Photo Mask  Fqpd  Coarse Pre-alignment  Fine Pre-alignment  Microscopic Vision  Motion Control  Petri Net  
基于配置的可重构制造系统建模与优化研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2006
作者:  任思成
Adobe PDF(2559Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：174/0  |  提交时间：2015/09/02
可重构制造系统  配置  建模  优化  Reconfigurable Manufacturing System  Configuration  Modeling  Optimization