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中国科学院自动化研究所机构知识库
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基于PLC的运动控制与过程控制研究
学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2008
作者:
李庆涛
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提交时间:2015/09/02
运动控制
过程控制
掩膜版传输
预对准
反渗透膜
膜热消毒
管道热消毒
Motion Control
Process Control
Mask Transport System
Pre-alignment
Reverse Osmosis
Membrane Hot-disinfection
Pipe Hot-disinfection
掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究
学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007
作者:
刘云
Microsoft Word(10463Kb)
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提交时间:2015/09/02
掩模版
四象限光电探测器
粗预对准
精细预对准
显微视觉
运动控制
Petri网
Photo Mask
Fqpd
Coarse Pre-alignment
Fine Pre-alignment
Microscopic Vision
Motion Control
Petri Net