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基于Petri网的组合设备建模与调度综述 期刊论文
自动化学报, 2023, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 929-948
作者:  袁凤连;  黄波;  王际鹏;  潘春荣
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晶圆制造  Petri网  组合设备  建模  调度  
Scheduling Dual-Arm Cluster Tools With Multiple Wafer Types and Residency Time Constraints 期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2020, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 776-789
作者:  Jipeng Wang;  Hesuan Hu;  Chunrong Pan;  Yuan Zhou;  Liang Li
浏览  |  Adobe PDF(2685Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：168/39  |  提交时间：2021/03/11
Cluster tools  multiple wafer types  scheduling  semiconductor manufacturing  wafer fabrication