掩模传输系统四象限对准装置
谭民; 徐德; 王秀青; 赵晓光; 刘云; 汪建华
2005-09-28
公开日期2007-04-04
授权国家CN
专利类型发明
摘要本发明掩模传输系统四象限对准装置,可以实现 掩模板位置与姿态信息的测量,据此通过夹持掩模板的掩模传 输机械手调整掩模板,达到所期望的位置和姿态。该装置包括 两个激光器、标有两个米字形对准标记的掩模板、两个滤光片、 接收米字形光斑的两个四象限光电探测器以及与之连接的信 号调理电路、A/D转换器和完成预对准的掩模传输机械手和驱 动机械手在平面中沿x、y方向平动及绕z轴旋转的驱动电机、 测量掩模传输机械手x、y方向位置的光栅尺、控制器等。本 发明装置结构简单、紧凑、对准精度高。
专利号CN200510105260.6
专利状态授权
文献类型专利
条目标识符http://ir.ia.ac.cn/handle/173211/8177
专题复杂系统管理与控制国家重点实验室_先进机器人
作者单位中国科学院自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
谭民,徐德,王秀青,等. 掩模传输系统四象限对准装置. CN200510105260.6[P]. 2005-09-28.
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