Knowledge Commons of Institute of Automation，CAS
| 掩模传输系统四象限对准装置 | |
谭民 ; 徐德; 王秀青; 赵晓光; 刘云; 汪建华
| |
| 2005-09-28 | |
| 公开日期 | 2007-04-04 |
| 授权国家 | CN |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 本发明掩模传输系统四象限对准装置，可以实现 掩模板位置与姿态信息的测量，据此通过夹持掩模板的掩模传 输机械手调整掩模板，达到所期望的位置和姿态。该装置包括 两个激光器、标有两个米字形对准标记的掩模板、两个滤光片、 接收米字形光斑的两个四象限光电探测器以及与之连接的信 号调理电路、A/D转换器和完成预对准的掩模传输机械手和驱 动机械手在平面中沿x、y方向平动及绕z轴旋转的驱动电机、 测量掩模传输机械手x、y方向位置的光栅尺、控制器等。本 发明装置结构简单、紧凑、对准精度高。 |
| 专利号 | CN200510105260.6 |
| 专利状态 | 授权 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ia.ac.cn/handle/173211/8177 |
| 专题 | 复杂系统认知与决策实验室_先进机器人 |
| 作者单位 | 中国科学院自动化研究所 |
| 第一作者单位 | 中国科学院自动化研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭民,徐德,王秀青,等. 掩模传输系统四象限对准装置. CN200510105260.6[P]. 2005-09-28. |
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