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掩模传输系统四象限对准装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200510105260.6, 申请日期: 2005-09-28, 公开日期: 2007-04-04
发明人:  谭民;  徐德;  王秀青;  赵晓光;  刘云;  汪建华
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基于PLC的运动控制与过程控制研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2008
作者:  李庆涛
Adobe PDF(1525Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：182/0  |  提交时间：2015/09/02
运动控制  过程控制  掩膜版传输  预对准  反渗透膜  膜热消毒  管道热消毒  Motion Control  Process Control  Mask Transport System  Pre-alignment  Reverse Osmosis  Membrane Hot-disinfection  Pipe Hot-disinfection  
掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究 学位论文
, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007
作者:  刘云
Microsoft Word(10463Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：170/0  |  提交时间：2015/09/02
掩模版  四象限光电探测器  粗预对准  精细预对准  显微视觉  运动控制  Petri网  Photo Mask  Fqpd  Coarse Pre-alignment  Fine Pre-alignment  Microscopic Vision  Motion Control  Petri Net