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压电陶瓷致动器纳米级位移融合测量系统、方法和装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL201910478437.9, 申请日期: 2020-10-16,
发明人:  杜章铭;  周超;  王硕;  邓赛;  张甜露;  程龙;  谭民
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Automated Axis Alignment for a Nanomanipulator inside SEM and Its Error Optimization 期刊论文
SCANNING, 2017, 期号: 2017, 页码: 8
作者:  Zhou, Chao;  Deng, Lu;  Cheng, Long;  Cao, Zhiqiang;  Wang, Shuo;  Tan, Min
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Multiwalled Carbon Nanotubes  Nanostructures  Nanorobotic Manipulation  System  Electron-microscope  
A TDC-Based nano-scale displacement measure method inside Scanning Electron Microscopes 会议论文
, Qingdao, China, 2016-12
作者:  Chao Zhou;  Yu Wang;  Zhengxing Wu;  Lu Deng;  Zhiqiang Cao;  Shuo Wang;  Min Tan
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